標題：荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列

主要產品

SparkNano的主要產品包括空間原子層沉積系統，具體有：

SparkNano LabLine™

SparkNano Omega™

SparkNano Vellum™

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列產品介紹：

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列

產品介紹

SparkNano LabLine™是一種用于研究和開發的空間原子層沉積系統，支持多種基板類型和工藝過程。系統采用空間原子層沉積技術，通過將前驅體和共反應物在空間上分離，實現薄膜的逐層沉積。

技術參數包括：

基板類型：平面和多孔基板，如晶圓、玻璃、金屬和聚合物箔

前驅體和共反應物：標準配置最多四個前驅體連接，共反應物包括H?O，可選等離子體（如O?、H?、O?）

樣品面積：最大420 mm x 300 mm

沉積溫度：熱S-ALD為50°C–250°C，等離子體增強S-ALD為50°C–200°C

基板加載：手動，通過兩個前室（一小一大）

系統尺寸：4.0米（寬）x 3.6米（深）x 2.1米（高）

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列優勢特點

? 系統具有較高的沉積速度，適應快速研發需求。

? 可處理多種基板類型，包括平面和多孔材料。

? 系統配置靈活，支持多種前驅體和共反應物選項。

? 從實驗室到生產的過渡較為順暢，支持規?；瘮U展。

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列主要應用：

荷蘭SPARKNANO原子層沉積系統Nano產品系列

太陽能電池

氫能技術

顯示器件

電池制造